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產(chǎn)品名稱(chēng)：氮化鉭（TaN）

規格：0.8-10um（D50）  

形貌：不規則

顏色：黑灰色 

特點(diǎn)：高硬度、‌耐磨、‌化學(xué)惰性、‌熱穩定性以及低的電阻溫度系數

用途：耐磨涂層、‌薄膜電阻以及集成電路中的擴散勢壘

中文名：氮化鉭

英文名：tantalum nitride

CAS號：12033-62-4

密度：13.4 g/cm3

晶型：黑色六方結晶

熔點(diǎn)：3090°C

化學(xué)式：TaN

電阻率：128μΩ· cm

熱導率：9.54W/(m·K)

分子量：194.95500

質(zhì)量：194.95100

顯微硬度：1100kg/m2

熱導率：9.54W/(m· K)

晶格常數：a=0.4336nm，c=0.4150nm

水溶性：不溶于水、酸，微溶于王水，溶于氫氧化鉀并分解釋放出氨，加熱至2000℃即釋放出氮氣。

制備方法

1.將金屬鉭粉用氮氣或氨氣在1100℃左右直接氮化制得。

2.以金屬鉭和氮氣為原料制備氮化鉭，反應式如下：2Ta+N2=2TaN

將金屬鉭粉用氮氣或氨氣在1100℃左右直接氮化制得。

作用/用途

1、用來(lái)制造片狀電阻的材料，氮化鉭電阻則可抵抗水汽的侵蝕。在制造集成電路的過(guò)程中，這些膜沉積在硅晶片的頂部，以形成薄膜表面貼裝電阻。用來(lái)制造片狀電阻的材料，氮化鉭電阻則可抵抗水汽的侵蝕。氮化鉭材料被用于制作芯片導線(xiàn)的保護層。

2、用作超硬質(zhì)材料添加劑，可制備純的五氯化鉭：用于噴涂，增加變壓器、集成線(xiàn)路、二極管的電穩定性。

存儲方法：本品應密封保存于干燥、陰涼的環(huán)境中，不宜長(cháng)久暴露于空氣中，防受潮發(fā)生團聚，影響分散性能和使用效果，另應避免重壓，勿與氧化劑接觸，按照普通貨物運輸。